摘要：晶圓清洗裝置技術指標是評估清洗設備性能和參數(shù)的關鍵指標。本文從清洗方法、清洗液和清洗能力等方面對晶圓清洗裝置技術指標進行詳細解析，介紹了不同參數(shù)對清洗效果的影響，以便讀者能夠深入了解晶圓清洗裝置技術指標的重要性和應用方法。正文：一、清洗方法晶圓清洗裝置的主要清洗方法有噴淋清洗和浸泡清洗。噴淋清洗主要采用高壓水槍或氣體吹掃等方式對晶圓進行清洗，清洗效果較好，但需要大量清水；浸泡