旋轉(zhuǎn)裝置是如何驅(qū)動(dòng)晶圓清洗機(jī)的？
摘要：晶圓清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造過程中非常重要的一部分，其中旋轉(zhuǎn)裝置是為了保證晶圓在清洗過程可以全部被清洗到且不會(huì)受到任何損壞，而如何驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置也是一個(gè)非常重要的問題。本文將從多個(gè)方面對(duì)旋轉(zhuǎn)裝置是如何驅(qū)動(dòng)晶圓清洗機(jī)進(jìn)行深入介紹，給出一些專業(yè)的分析和具體的實(shí)現(xiàn)方式。正文：1.驅(qū)動(dòng)方式晶圓