摘要：化學機械研磨機臺清洗方案旨在提高清洗作業(yè)的效率和可靠性，以確保機臺的穩(wěn)定運行和延長機器的使用壽命。本文將從多個方面對此進行詳細介紹和分析。正文：1.清洗前的準備工作在進行化學機械研磨機臺清洗前，需要進行一系列準備工作。首先應該準備必要的